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我国学者与海外合作者在可批量制造的钽酸锂薄膜异质晶圆与光子芯片技术方面取得进展

在国家自然科学基金项目(批准号:62293521)资助下,中国科学院上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员团队联手瑞士洛桑联邦理工学院Tobias J. Kippenberg团队,在钽酸锂异质集成晶圆及高性能光子芯片制备领域取得突破性进展,相关成果以《可批量制造的钽酸锂集成光子芯片》(Lithium tantalate photonic integrated circuits for volume manufacturing)为题,于2024年5月8日发表在《自然》(Nature)上,论文链接: 免责声明:本网站部 分文章和信息来源于互联网,本网转载出于传递更多信息和学习之目的,并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载稿涉及版权等问题,请立即联系管理 员,我们会予以更改或删除相关文章,保证您的权利。对使用本网站信息和服务所引起的后果,本网站不作任何承诺。

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